Текст книги "Александр Иванович Шокин. Портрет на фоне эпохи"

Автор книги: авторов Коллектив

сообщить о нарушении

Текущая страница: 42 (всего у книги 55 страниц)

Еще в марте 1958 года правительством было принято постановление о строительстве под Москвой города-спутника. Идея была взята из мирового опыта, и своим появлением в нашей стране, а тем более реализацией, она связана с активным вмешательством Хрущева в дела архитектуры и градостроительства. Недалеко от Крюкова с шестидесятого года пошло массовое строительство жилых домов, в прессе ярко описывались прелести будущей жизни в этом городе, откуда в центр Москвы на специальной электричке-экспрессе можно будет попасть всего за полчаса. Однако, ясного, обоснованного ответа на вопрос, чем реально будут заняты жители города-спутника, не было, соответственно не было и желающих переехать.

С годами и с падением пелены секретности число претендентов на авторство мысли о создании здесь города микроэлектроники растет. Но, как мы уже обсуждали выше, на пути от голой идеи до ее реализации в виде чего-то существенного (а в данном случае речь идет о целом городе со сложнейшей наукой и промышленностью) требуются скоординированные усилия множества людей. Акт зачатия еще не предполагает, кем станет будущий человек: бандитом или президентом, и даже не гарантирует, что ребенок родится!

Прежде всего идею нужно было доходчиво донести до понятия самого Н.С. Хрущева, получить его одобрение, подготовить (т. е. написать и получить вместе с кучей поправок массу согласующих подписей чиновников всех рангов) выход соответствующего Постановления ЦК КПСС и Совета Министров. Уже в начале 1962 года А.И. Шокин начал подготовку доклада Хрущеву в Кремле. Вновь воспользуемся воспоминаниями непосредственного участника этих событий Я.А. Федотова:

«….я…получил задание плюс ко всей управленческой деятельности готовить демонстрационный материал для доклада Президиуму ЦК КПСС. Естественно, что доклад этот касался всех проблем электронной техники: и конденсаторов, и резисторов, и электронных ламп, и кинескопов, и оборудования для их изготовления, и, в значительной степени, также и материалов для их производства. Моя часть общего доклада касалась, естественно, только полупроводниковой электроники».

В НИИ-35 рисовали плакаты с рисунками и таблицами, готовили образцы, писали справки и т. д. Наконец А.И. добился согласия на проведение небольшой выставки с докладом в перерыве заседания Президиума ЦК КПСС. Одновременно с микроэлектроникой Госкомитет по оборонной технике показывал возможности лазеров, готовя постановление по квантовой электронике. Как только началось заседание, у входа в зал была развернута экспозиция, и к перерыву все было готово. Из дверей зала заседаний вышли члены Президиума ЦК во главе с Хрущевым. Главным стендистом от электроники был Я.А. Федотов:

«В длинном ряду стендистов-докладчиков я был вторым. Н.С. Хрущев довольно внимательно слушал первый доклад. В это время Алексей Николаевич Косыгин обнял меня за плечо и сказал на ухо: «Ты только короче… Все равно здесь никто ничего не поймет…»

У А.Н. Косыгина были основания для такого заключения. Он-то понимал, насколько сложной и трудной для понимания является проблема полупроводниковой электроники и микроэлектроники. Незадолго до этого он провел несколько часов в НИИ-35 и, в частности, на экспериментальном участке, где делались первые шаги в интегральную электронику (микроэлектронику)».

Другой участник этих событий, А.Ф. Трутко (в то время директор НИИ-35), рассказывал автору, как А.И. Шокин убеждал руководителей страны в великом будущем микроэлектроники и необходимости отдать под нее целый город: «Представьте себе, Никита Сергеевич, что телевизор можно будет сделать размером с папиросную коробку». Но все члены Президиума единодушно были против, за исключением Хрущева, который, правда, сильно усомнился насчет телевизора: «Ну, это ты врешь», – но заинтересовался и согласился на дальнейшее знакомство с возможностями микроэлектроники. После этого отправились смотреть, как лопаются надувные шарики, прожигаемые лучами лазера.

А.И. прекрасно представлял себе, что добиться задуманного результата от Хрущева, просто рассказав ему о перспективах микроэлектроники во время приема, было невозможно: тот не увидел бы необходимости отдать целый город и затратить огромные деньги на сверхчистые помещения и сверхдорогое технологическое оборудование. Нужно было найти точку в пространстве и времени, где сошлись бы Хрущев, микроэлектроника и ее колоссальные выгоды на примере какой-либо государственной проблемы, которую бы Хрущев заведомо воспринимал как действительно важную. И такую точку Шокин нашел.

Случилось так, что ВПК поручила Госкомитету по судостроению отчитаться о ходе выполнения принципиально новых научно-технических задач в судостроении. Для этой цели предлагалось провести расширенное совещание с приглашением главных конструкторов и руководителей институтов ГКС и ВМФ и организовать выставку их работ. Все это планировалось сделать в Ленинграде с участием Н.С. Хрущева и посещением им судостроительных заводов.

А в Ленинградском ОКБ-2 ГКЭТ с применением новейших технологий микроминиатюризации электронной аппаратуры велись работы по созданию управляющих бортовых мини-ЭВМ для самолетов и подводных лодок. Главным конструктором управляющей машины УМ-1 и начальником КБ был упомянутый А.А. Колосовым Ф.Г. Старос. Старос и его главный инженер И.В. Берг были эмигрантами из США. Оказавшись в Советском Союзе в 1955 году, они приступили в специально созданной в НИИРЭ лаборатории СЛ-11 к разработке бортовых управляющих машин сначала в Минавиапроме, но пришлись там со своей тематикой не ко двору, успехов не добились. С образованием ГКЭТ А.И. Шокин, верный своим идеям о комплексном подходе в создании ЭВМ, мудро решил взять их к себе, образовав на базе лаборатории ОКБ, хотя вроде бы задачи они решали не по электронным компонентам, а системные. Хрущеву эти обстоятельства были известны, так как и он принимал кое-какое участие в обустройстве российской судьбы беглецов из Америки.

Шокин применил весь свой организационный опыт и аппаратное искусство, задействовал старые связи с «судаками» и в ВПК, в том числе с Г.А. Титовым и Д.Ф. Устиновым, и совмещение нужных событий во времени и пространстве наконец состоялось.

Хрущев прибыл в Ленинград для участия в совещании судостроителей. 4 мая 1962 года он знакомился на заводе им. Жданова с проходившим заводские испытания ракетным крейсером «Грозный» – головным кораблем проекта-58. В тот же день вместе с председателем ВПК Д.Ф. Устиновым, его первым заместителем Г.А. Титовым и главкомом ВМФ С.Г. Горшковым он приехал в КБ-2.

В многократно показанной по НТВ телевизионной передаче «Жизнь под грифом «Секретно»[297]297
  Эта передача отличилась особой необъективностью изложения истории становления в СССР полупроводниковой микроэлектроники даже на фоне всех передач тогдашнего НТВ и вызвала множество возмущенных откликов.


[Закрыть] среди прочей лжи в частности говорилось, что американцы устроили настоящее шоу для Хрущева и выдавили из него постановление о строительстве Зеленограда. Для читателя данной книги уже должно быть ясно, что по части шоу им нечего было и тягаться с А.И. Шокиным. В КБ-2 он был, выражаясь языком понятным для авторов упомянутой передачи (Киселева и Кричевского), и продюсером, и сценаристом и главным режиссером, а накануне визита Хрущева провел со своими актерами (Старосом, который должен был давать пояснения, Бергом и др.) генеральную репетицию. Помимо уникальной для того времени ЭВМ, размещавшейся на столе, поразить Хрущева должен был (и действительно поразил!) самый маленький в мире радиоприемник «Эра», прикреплявшийся к уху. Никита Сергеевич как надел его, так и не снимал все проведенное в КБ время. Правда, и в ЭВМ, и в приемнике Старосом использовались дискретные транзисторы, поставляемые промышленностью, и к микроэлектронике они имели довольно слабое отношение, но успех был полный. Хрущев одобрил идею и первый вариант постановления о создании в Крюкове научного центра микроэлектроники. Через три месяца интенсивных согласований, 8 августа 1962 года, постановление ЦК КПСС и СМ СССР было подписано[298]298
  К сожалению, до сих пор оно не рассекречено.


[Закрыть]. В соответствии с ним в составе Центра должно было быть создано пять новых НИИ с тремя опытными заводами: НИИ теоретических основ микроэлектроники, НИИ микросхемотехники, НИИ технологии микроэлектроники, НИИ машиностроения, НИИ специальных материалов.

Н.С. Хрущев в КБ-2. Слева направо: С.Г. Горшков, Д.Ф. Устинов,Ф.Р. Козлов, (?), Ф.Г. Старос, А.И. Шокин, Г.А. Титов, (?), (?), Н.С. Хрущев, крайний справа Б.Е. Бутома

Насколько глубоко Хрущев пропитался полученными впечатлениями, видно из его рассказа коллегам на заседании Президиума ЦК 5 ноября 1962 года:

«Микроэлектроника – это механический мозг, это наше будущее. Здесь мы имеем хорошую основу для развития. Я разослал записку двух инженеров. Мне хочется, чтобы москвичи уделили больше внимания г. Крюково. Нельзя засорять этот город, иначе там жильцов будет больше, чем людей, достойных жить в этом городе, городе микроэлектроники. Надо установить твердый порядок, что имеет право жить в этом городе только тот, кто работает на новых заводах по электронике.

Весной я был в Ленинграде, где мне показывали старую счетную машину. До этого я видел ее в Академии наук. Эта машина занимает сотни квадратных метров. Новая машина этих двух инженеров вот такая (показывает на руках). И эта машина может заменить несколько старых машин. Когда я пошел по заводу, то увидел, что в металлургическом цехе сидят девушки с высшим или средним образованием, в белых халатах, с микроскопом в руках и занимаются металлургическими процессами. Вот вам и металлургия.

Сейчас у нас только одна такая машина, ее никто взять не может, потому что если ее взять, то надо развернуть производство деталей. Они просили у меня помощи, и я обратился к тт. Устинову, Сербину и Шокину. На последнего они не жалуются, но есть среднее звено, которое ставит палки в колеса. И это понятно, потому что они на две головы выше поднимаются, а все старое цепко держится за свое. Поэтому надо сломить бурелом и расчистить дорогу новому. Только тогда мы сможем подняться на большую высоту и занять ведущие позиции в этом вопросе»[299]299
  Президиум ЦК КПСС. 1954–1964. Черновые протокольные записи заседаний. Стенограммы. Постановления. Т. 1. / Черновые протокольные записи заседаний Стенограммы / Гл. ред. А.А. Фурсенко. – М.: Российская политическая энциклопедия (РОССПЭН), 2003. – С. 641.


[Закрыть].

В октябре шестьдесят второго председатель Госкомитета провел большое отраслевое совещание конструкторов – разработчиков полупроводниковых приборов, на котором сам выступил с докладом.

Когда в настоящее время появляются статьи и телепередачи, приписывающие создание микроэлектроники в СССР исключительно двум выходцам из Америки, то это, мягко говоря, передергивание[300]300
  Микроминиатюризация УМ-1 достигалась применением бескорпусных полупроводниковых приборов и гибридной технологии в сочетании с памятью на миниатюрных ферритовых кольцах, т. е. технология твердотельных интегральных схем не использовалась.


[Закрыть], рассчитанное на неискушенную публику. Какую бы пользу ни принесли их талант, необычные подходы, привнесенные из зарубежного опыта, но они были всего лишь разработчиками и промышленности не создавали. Как говорил один из персонажей «Двенадцати стульев»: «Трамвай построить – это не ешака купить!»

А.И. Шокин не один раз с досадой высказывался о том, что у нас принято приписывать все заслуги в создании новой техники конструкторам. Получив от автора и прочитав с большим интересом мемуары выдающегося авиаконструктора А.С. Яковлева, он примерно так выразил свое мнение: «Вот все о себе, а ведь самолеты выпускает не конструкторское бюро, а огромная отрасль, которой управляет министр. Это Сталин во время войны поднял престиж авиаконструкторов, раздал им генеральские и другие звания, теперь вот академиками стали».

Он потому несколько ревновал к конструкторам, что к своей работе подходил творчески и электронную промышленность – творил. Поэтому, читая Яковлева, он с неудовольствием отмечал в книге критические заметки о своем коллеге П.В. Дементьеве; когда рассекретили С.П. Королева (увы, после смерти) и стали писать о нем, то тоже: «А где Устинов? Где Афанасьев?» А.И. Шокин не хотел считать себя только чиновником и искал подтверждения своего понимания работы руководителя промышленности у других, и в этом тоже была причина, по которой ему так нравилась книга П.Л. Капицы «Теория. Эксперимент. Практика» с ее проблемами творчества на разных этапах жизненного цикла новых идей. Как всякого творческого человека, его интересовало общественное признание (не его самого, а его творений), чему существовало самое серьезное препятствие в виде секретности. Секретной была, например, сама принадлежность того или иного предприятия к возглавляемому им ведомству – того же Научного центра! Эту ситуацию хорошо представлял себе и сам П.Л. Капица, когда обдумывал свое участие в атомном проекте, и, по его собственному признанию, выбрал для себя отказ именно по этой причине. Судя по опубликованным дневниковым записям В.М. Пролейко, министр не уставал повторять, что талант организатора науки особенно ценен и встречается гораздо реже, чем талант ученого.

В этом творении промышленности создание города электроники было для А.И. одним из самых впечатляющих моментов.

Постановление от 8 августа окончательно определило судьбу и новую градообразующую отрасль города-спутника Москвы. 15 января 1963 года Решением Исполкома Моссовета «вновь строящийся населенный пункт в районе станции Крюково Октябрьской железной дороги» был преобразован в город районного подчинения с наименованием Зеленоград. Несколько позднее Зеленоград стал 30-м районом Москвы – А.И. добился в правительстве для него этого статуса для привлечения лучших кадров страны в Научный центр микроэлектроники.

Со всей своей решительностью и энергией он взялся за создание Центра микроэлектроники и строительство нового города.

Из воспоминаний первого архитектора города-спутника Игоря Евгеньевича Рожина[301]301
  Лауреат Ленинской премии 1959 г. (с соавторами) за стадион им. Ленина в Лужниках / Зеленая ветвь Москвы.


[Закрыть]: «… мне позвонили из Госкомитета электроники и сказали, что со мной хочет побеседовать министр А.И. Шокин. Он мне сказал, что есть предложение начать строить в новом городе предприятия микроэлектронной промышленности. Вскоре мы встретились и отправились осматривать будущие строительные площадки.

Был прекрасный теплый день. Мы начали осмотр со стороны дер. Малино. Александру Ивановичу очень понравилось это живописное место, мне тоже. Помню поле овса с васильками, по которому мы гуляли, сняв пиджаки. Уехал А.И. Шокин, как я понял, приняв решение…»

Ему очень хотелось, чтобы город получился и удобным, и красивым, но достичь этого в самый разгар борьбы с «архитектурными излишествами» и типовых проектов из сборного железобетона можно было, только преодолев огромную массу ограничений. А.И. имел свои представления о возможностях современной архитектуры, вынесенные из зарубежных поездок, из поездок по стране. Часто по выходным ездил по Москве, знакомясь с новостройками. По воспоминаниям И.Е. Рожина: «…он…принимал участие во всех конкурсах и проектах и всегда интересовался новыми идеями. Мы в то время были скованы принципами массового индустриального строительства. Но Александр Иванович смотрел на все гораздо шире. С ним было приятно общаться, он всегда внимательно слушал и вообще был симпатичным человеком».

Министр вникал во все вопросы строительства, начиная от того, как бы облагородить внешний вид уже строившихся четырехэтажных «хрущевок», до проектов предприятий, предназначенных разрабатывать и производить современнейшие сложнейшие изделия. «Пока велась подготовительная работа для электроники (1962–1963 гг.), Александр Иванович Шокин приезжал сюда еженедельно. Надевал сапоги, телогрейку и со всей командой ходил по стройкам – Северной, Северо-Западной, Южной зонам. При мне, с 1964 года, курировал он нас уже раз в месяц. Тогда почище стало – можно было и без сапог пройти»[302]302
  Геращенко Л.Д. Зеленая ветвь Москвы


[Закрыть].

В 1965 году Рожин передал бразды правления в руки И.А. Покровского, автора комплекса Дворца пионеров и школьников на Ленинских горах известного и нравившегося А.И.

Генеральный план развития города был скорректирован, строительство «хрущевок» прекращено, и вскоре началось возведение жилых домов улучшенных проектов с повышенной этажностью, институтов и заводов электронной промышленности. Многие исходные идеи были подсказаны архитекторам заказчиком, то есть министром. Были удачные предложения, а были и не очень. Среди первых – МИЭТ, а среди последних – черная торцевая стена лабораторного корпуса в северной промышленной зоне на выезде из города. В то время А.И. увлекался цветовыми решениями и знал, что наиболее трудно добиться ярко-белого и глубокого черного цвета. Они требовали особенно тщательного исполнения, так как делали заметными малейшие неоднородности. Во время ремонта госдачи в Горках-10 А.И. и стены внутренней лестницы решил покрасить в черный цвет. Убедившись, что ничего хорошего не вышло, он от этих увлечений отошел. Лестницу потом перекрасили, а вот стена корпуса, облицованная черной плиткой, выцветшей со временем до неопределенного колера, осталась.

Первым директором строящегося Центра микроэлектроники стал Федор Викторович Лукин (приказом ГКЭТ от 08.02.1963), до этого назначенный Постановлением СМ СССР от 29.01.1963 года заместителем председателя ГКЭТ Лукина А.И. Шокин знал еще с довоенных лет по работе в НИИ-10, затем он работал главным инженером КБ-1 и немало сделал для того, чтобы продвинуть систему С-25 через сомнения и предубеждения, возникшие вдруг у ряда высокопоставленных военных после падения Л.П. Берии. Лукин же возглавлял государственную комиссию по приемке первой серийной советской ЭВМ «Стрела». Последнее время перед переводом в ГКЭТ он был директором НИИ-37 ГКРЭ (НИИ дальней радиосвязи – НИИДАР), создав несколько крупных радиоэлектронных систем. Старос был назначен его заместителем с сохранением должности и обязанностей начальника ленинградского КБ-2. Лукину пришлось без раскачки включиться в создание нового комплекса предприятий, на которые была возложена громадная задача – создать научно-технические и промышленные основы микроэлектроники СССР, организовать производство, готовить кадры. Сразу после его назначения, 12 февраля, прошло заседание коллегии комитета под председательством А.И., полностью посвященное Центру микроэлектроники. Было необходимо быстро организовать несколько НИИ и создать четкую систему управления новыми предприятиями.

Состав предприятий Научного центра, по замыслу, должен был охватывать все аспекты микроэлектроники, весь цикл «исследование – производство». Первыми в 1962 году были созданы системное предприятие НИИ микроприборов с заводом «Компонент» (НИИМП, директор И.Н. Букреев) и институт по разработке спецтехнологического оборудования (в основном термического) НИИ точного машиностроения (НИИТМ директор Е.Х. Иванов) с заводом электронного машиностроения «Элион». Немедленно было развернуто их строительство, но, не дожидаясь появления новых зданий, на временных площадях, предприятия развернули работу, и через несколько месяцев, в мае 1963 года, в НИИТМ уже были созданы первые образцы вакуумного напылительного оборудования. На правах филиалов НЦ организуются пять конструкторских бюро, в том числе КБ-5 в Минске, в задачи которого вошли разработка и производство сборочного и оптико-механического оборудования для электронной промышленности. Кстати, выходу постановления предшествовала длительная борьба с машиностроительным лобби, доказывавшим бессмысленность создания в отрасли специализированных машиностроительных предприятий, но жизнь подтвердила правильность принятого решения. Фактически это постановление ознаменовало создание подотрасли – электронное машиностроение.

В июне 1963 года были организованы НИИ точной технологии, предназначенный для разработки интегральных схем по гибридной технологии с заводом «Ангстрем» (НИИТТ, директор В.С. Сергеев), НИИ материаловедения (НИИМВ, директор А.Ю. Малинин) с заводом «Элма» (электронные материалы), основным направлением работ которых были материалы для микроэлектроники. К концу 1963 года завершилось строительство первой очереди производственного корпуса завода «Элион», а в следующем году было создано первое предприятие по созданию монолитных интегральных схем – НИИ молекулярной электроники (НИИ МЭ) с заводом «Микрон». Для работы с потребителями было предусмотрено Центральное бюро применений интегральных схем (ЦБПИМС), а поисковыми исследованиями должен был заниматься НИИ физических проблем. 28 декабря 1963 года А.И. подписал приказ об организации дирекции Центра микроэлектроники (ДНЦ) и утвердил ее структуру.

Очень сложно для А.И. было убедить борцов за экономию в строительстве, что на предприятиях полупроводниковой промышленности внутренние стены должны быть облицованы непременно мрамором (на нем не оседает пыль), что применять конструкции перегородок из черного металла по тем же требованиям вакуумной гигиены нельзя, что применением дорогой гранитной облицовки ступеней наружных лестниц и цоколей, не требующих ежегодного ремонта, достигается большая экономия при эксплуатации и т. д. и т. п. По многим совершенно очевидным для А.И. Шокина, да и любого грамотного человека с государственным подходом, вещам приходилось преодолевать сопротивление легионов безответственных чиновников, не пройдя которых, нельзя было добраться до лица, способного принять нужное решение. Одним из рабочих моментов создания Зеленограда был визит туда летом 1964 года секретаря МГК КПСС Н.Г. Егорычева и председателя Исполкома Моссовета В.Ф. Промыслова, под чьей эгидой работало специально образованное Управление «Зеленоградстрой».

Первоначально при создании интегральных схем ориентировались на так называемую гибридную технологию, когда на керамическую подложку наносятся (напыляются) проводники, резисторы, конденсаторы, а затем в нужных местах припаиваются бескорпусные транзисторы. Затем все это помещается в корпус. В Зеленограде первоначально больше внимания уделялось именно этому направлению микроэлектроники. То, что главными в ближайшие годы станут твердотельные полупроводниковые микросхемы, создаваемые по планарной технологии, для большинства было еще не очевидно.

В 1965 году на предприятиях Центра микроэлектроники уже было введено в строй 60 тысяч квадратных метров площадей, работало несколько тысяч человек. Усилиями НИИ точной технологии (директор В.С. Сергеев, главный инженер А.К. Катман) была разработана технология современных для того периода гибридных микросхем (ГИС) и начато их производство во введенных в строй корпусах завода «Ангстрем» – первого в стране специализированного завода по производству микросхем. Уровень этой технологии был очень высок, с применением оригинальных решений. Например, впервые в мире, задолго до Запада, здесь была придумана и широко внедрена лазерная подгонка элементов ГИС микросхем на оборудовании собственной разработки и изготовления.

По тонкопленочной технологии к осени 1963 г. в НИИМП был разработан самый маленький в мире радиоприемник «Микро». Первые его образцы были продемонстрированы Хрущеву, который распорядился патентовать все, что было связано с его изготовлением. В свои поездки в Данию, Швецию, Норвегию, Египет Хрущев брал микроприемники для подарков. Приемник «Микро» стал первым в СССР микроэлектронным изделием, которое серийно выпускалось промышленно. Пленочная технология потом была внедрена на предприятиях отрасли в Вильнюсе, Риге, Киеве. Выступая на Коллегии 2 октября 1964 г. и ставя задачи на 8-ю пятилетку, Председатель комитета призывал: «смелее браться за разработку узлов и блоков РЭА. Американцы в восторге от советских микроприемников, но успокаивают себя: «Русские долго организуют серийную технологию и не умеют торговать».

Но твердотельные микросхемы наступали, и после начала работ по планарной технологии в НИИ-35 в составе Научного центра в 1964 году для решения задач создания твердотельных интегральных схем был создан новый НИИ – молекулярной электроники. Пока под руководством первого директора И.А. Гуреева (по специальности строителя) в Зеленограде строился корпус института, в Москве в НИИ-35 родился первоначальный коллектив НИИМЭ. О том, что было дальше, вспоминает ныне академик К.А. Валиев:

«В конце 1964 года я был приглашен к министру, А.И. Шокину для беседы по поводу возможного назначения директором НИИ молекулярной электроники. Помню, встреча была не одна – решения о таких назначениях принимались, видимо, взвешенно. Помню также вопрос о здоровье: каково оно у меня? Я отвечал, что работоспособность у меня хорошая. В январе 1965 года на одном заседании коллегии Комитета по электронной технике были назначены два зеленоградских директора: Савин Виктор Васильевич – и.о. директора НИИТМ, и я – и.о. директора НИИМЭ. <…>

В начале 1965 года коллектив НИИМЭ уже способен был к каким-то конкретным действиям на ниве микроэлектроники. Но с чего начинать? Первые шаги реальных действий института полностью определялись А.И. Шокиным. Прежде всего он предложил перевести всех в Зеленоград. Здание НИИМЭ не готово. Был выделен один пролет в цехе завода «Элион» – примерно 1000 кв. м. Расположились прямо в цехе за рабочими столами, работаем. Над чем? Задача определена А.И. Шокиным: надо создать цех по производству бескорпусного «планарного» транзистора «Плоскость» (разработка НИИ «Пульсар»). В этой разработке аккумулирован отечественный опыт планарной технологии на кремнии, основные процессы которого пригодны и для изготовления интегральных схем. Для цеха выделен один пролет в «чистом» зале завода «Компонент». Примерно 1000 кв. м, рядом со строящимся зданием НИИМЭ.

Где взять оборудование для цеха? Совместно с нашими инженерами специалисты НИИ точного машиностроения в течение 6–9 месяцев разработали, изготовили и поставили полный комплект оборудования линии «Плоскость», включая установки для литографии и диффузионные печи»[303]303
  Валиев К.А. НИИ молекулярной электроники: годы рождения и развития / НИИМЭ – «Микрон». 35 лет. События. Люди. – М., Зеленоград: Микрон-принт, 1999. – 280 с.


[Закрыть].

В 1966 году здание НИИМЭ сдали в эксплуатацию, а его разработчиками были созданы технологии и начат выпуск первых серий полупроводниковых микросхем «Иртыш» (дифференциальная пара транзисторов), «Логика», «Микроватт».

Стремление А.И. к скорейшему внедрению разработок в практику и стиль его работы на примере полупроводниковых приборов и интегральных схем прослеживаются особенно хорошо.

Председатель Совмина заинтересовался микроэлектроникой

Одной из главных и одновременно одной из самых сложных задач было создание специального технологического оборудования, особенно оптико-механического. Планарная технология построена на многократном повторении фотолитографического процесса, в результате которого на кремниевой пластине создаются защищенные и незащищенные фоторезистом области. Последние подвергаются соответствующей технологической обработке, после которой вновь поступают на следующий цикл фотолитографии. При этом точности совмещения изображений в последующих циклах должны быть много меньше технологических минимальных размеров создаваемого на кремниевой пластине элемента. В 1968 году они составляли 8—10 мкм, а в 1970 – уже 2–5 мкм. Естественно, оптико-механическое оборудование, в частности фотоштампы, установки совмещения и экспонирования пластин, обеспечивающее фотолитографические процессы с такой точностью, попадало под торговое эмбарго западных стран. Отечественные же оптики-механики из Министерства оборонной промышленности (ГОИ и ЛОМО) под любыми предлогами отказывались от разработки нужных систем.

Поэтому решение этой задачи было возложено на вновь организованное в составе Центра КБ-5 в Минске. Впоследствии оно стало самостоятельным и получило название Конструкторское бюро точного электронного машиностроения (КБТЭМ). Первым его директором, И.М. Глазковым, был создан замечательный коллектив, прекрасное оптическое и механическое производство. К созданию оптико-механического оборудования была привлечена также широко известная фирма «Карл Цейс, Йена» (ГДР). В кратчайшие сроки КБТЭМ было оснащено самым современным зарубежным и отечественным обрабатывающим оборудованием, что в эпоху всеобщего распределения было беспрецедентным (вот это была настоящая поддержка!). Начав практически с нуля, предприятие создало и приступило уже в 1963 г. к серийному производству микроманипулятора для разварки выводов ММ-1, явившегося базой для последующих разработок микроманипуляторов, сборочного и фотолитографического оборудования. В последующие два года создаются: гамма установок сборки серии «Контакт»[304]304
  Аналог «Green Line» известной американской фирмы K&S. Эта серия оказалась долгожителем и изготавливалась в течение двух десятилетий.


[Закрыть], первые отечественные установки совмещения и экспонирования, фотокамеры, фотоповторители, координатографы. Параллельно осуществлялось их серийное производство.

Очень скоро из Зеленограда пошли сотни типов материалов: металлических, полупроводниковых, изолирующих, жидкостей, газов, сложных химических соединений, стекол, керамик и пр. До этого все они или вообще не производились отечественной промышленностью, или по чистоте и другим свойствам совершенно не соответствовали требованиям электроники.

Все это делали люди, собранные в Зеленоград со всей страны из многих научных предприятий и учреждений. Сюда их привлекали возможность получения квартиры, московской прописки и, конечно, интересная работа в самом перспективном направлении науки. Правда, настоящих специалистов в области микроэлектроники еще практически не было, да и не могло быть. Одни становились ими в процессе работы, другие – только начали учиться в вузах по вновь открытым специальностям. Наиболее подготовленные ученые и инженеры, операторы и наладчики пришли из НИИ-35 и НИИ-311 («Сапфир»). Самый многочисленный «десант» был с Томилинского завода. Его директор, Б.С. Куржелевский, только-только вывел завод из хронического невыполнения поставок по важнейшим оборонным заказам, но все-таки отпустил более сотни лучших своих специалистов на развитие отечественной микроэлектроники.

НИИ «Пульсар», НИИМЭ, Воронежское КБ разработали базовые маршруты планарной технологии для производства ИС и планарных транзисторов. В дальнейшем по их техническому заданию НИИТМ (директор В.В. Савин), КБТЭМ, НИИ технологии и организации производства в Горьком (НИИТОП, директор А.Г. Салин), НИИ полупроводникового машиностроения в Воронеже (НИИПМ, директор К.А. Лаврентьев), НИИ «Электронстандарт» (директор Гаген) разработали комплект технологического оборудования «Корунд», обеспечивающий массовый выпуск ИС и полупроводниковых приборов по планарной технологии.

Новое оборудование для производства электронных приборов сочетало в себе точную механику, оптику и автоматику, способную работать при высокой, или, наоборот, очень низкой температуре или в агрессивных средах, обеспечивать глубокий вакуум, позволяло вести обработку деталей различным излучением, и т. д.

Хотя специалистов нужного профиля для электронной промышленности уже начал готовить МИЭМ[305]305
  На 1978 г. на факультетах полупроводникового и электровакуумного машиностроения, автоматики и телемеханики, радиотехнический, прикладной математики здесь обучались 6,5 тысячи студентов, работали 606 преподавателей и научных сотрудников.


[Закрыть], деятельность которого определялась такими известными учеными, как Н.Д. Девятков, С.А. Векшинский, В.С. Семенихин, С.Н. Вернов, и др., А.И. все же считал необходимым, чтобы подготовка специалистов микроэлектроники проходила как можно ближе к Научному центру. Ему мечталось создать учебный институт в самом Зеленограде. Наконец и эта мысль перешла в реальность – постановлением СМ СССР от 26 ноября 1965 года было образовано высшее учебное заведение по подготовке специалистов в области микроэлектроники – Московский институт электронной техники МИЭТ. Вуз начал функционировать по приказу Министерства высшего и среднего специального образования РСФСР 9 декабря 1965 года.